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FluxDancer半導體參數分析儀

FluxDancer半導體參數分析儀是由Oriental Spectra精心打造的高精度測試設備，專為測量和分析半導體器件的電學特性而設計。這款儀器融合了眾多前沿測量技術，包括電源、電壓表、電流表、LCR表和開關矩陣等，使其能夠執行電流-電壓（IV）和電容-電壓（CV）測量，以及快速脈沖IV測量等多種測試。

  • 產品型號：
  • 廠商性質：代理商
  • 更新時間：2026-03-27
  • 訪  問  量：63
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產品詳情

FluxDancer半導體參數分析儀是由Oriental Spectra精心打造的高精度測試設備，專為測量和分析半導體器件的電學特性而設計。這款儀器融合了眾多前沿測量技術，包括電源、電壓表、電流表、LCR表和開關矩陣等，使其能夠執行電流-電壓（IV）和電容-電壓（CV）測量，以及快速脈沖IV測量等多種測試。


FluxDancer的之處在于其對測試精度和分辨率的追求。它不僅能夠提供精確的IV和CV表征，而且廣泛應用于半導體研發、工藝制程開發、器件可靠性測試和光電器件測試等領域。與傳統的多儀器組合相比，FluxDancer的集成設計確保了更高的測量精度和分辨率。

主要規格參數：

    □ 電流-電壓（IV）、電容-電壓（CV）、脈沖IV測試等全面功能；

    □ 電流測量分辨率ZUI高0.1 fA，測試精度30 fA；

    □ IV-t測試模式，zui快采樣率不低于65 us/點；

    □ 支持脈沖模式下的最短脈沖寬度為10 ns；

    □ 測試功能：IV、IV-t、PIV (脈沖IV)、Super-PIV (10 ns sampling)CV、阻抗、1/f (100 KHz)、Super-1/f (1 MHz)、Solar cell、FET、BJT、EL等  。

    □ 高精度和高分辨率的測量能力；

    □ 快速測量和分析，支持多種測量模式；

    □ 模塊化設計，易于升級和擴展：配置＞10個插槽，支持zui大吸收電流至4A；

    □ 適用器件、材料，有源/無源元器件等類型的電子器件；

    □ 直觀的用戶界面，簡化操作流程；

    □ 支持自動化測試和數據分析。

    Ⅰ-Ⅴ 源測量單元 (SMU)

    大功率 SMU：

    • 電壓范圍: ±100 V-200V

    • 直流電流范圍: ±1A

    • 脈沖電流范圍: ±2A±3A

    • 最小電流分辨率: 0.1fA

    • 最小電壓分辨率: 100nV

    • 電流測量量程: 10fA

    • 電壓測量量程分辨率: 0.5uV

    • 直流功率: 20W 或者 40W 可選

    • zui大脈沖功率: 480W (zui大電壓 160V, zui大電流 3A)

    • 脈沖極限最小寬度: 50 us, 可輸出 50us 脈沖測試

    • 支持四象限測試

    • 支持 2 線或 4 線測試

    • 支持 IV-T 測試模式，zui快采樣率 550ns 每點，數據存儲點可以設置為 10K, 1M, 10M 或 100M

    中等功率直流 SMU：

    • 電壓范圍: ±40-±50 V

    • 電流范圍: ±1.5A

    • 最小電流分辨率: 400 pA

    • 最小電壓分辨率: 4uV

    • 電流測量分辨率: 10fA

    • 電壓測量分辨率: 0.5uV

    • 支持四象限測試

    • 支持 2 線或 4 線測試

    小功率直流 SMU：

    • 電壓范圍: ±14 V

    • 電流范圍: ±40 mA

    • 最小電流分辨率: 200 nA

    • 最小電壓分辨率: 60 uV

    • 電流測量分辨率: 10fA

    • 電壓測量分辨率: 0.5uV

    • 支持四象限測試

    • 支持 2 線或 4 線測試

    • 支持源表數量：1-5 可選

    • 前置放大：可配置前置放大，SMU 電流測量分辨率提高至 0.1fA

     C-V 多頻電容單元 (CVU)

    • AC 阻抗測量是 CV, C-f, C-t

    • 1 kHz- 10 MHz 寬范圍，最小頻率分辨率 1mHz

    • 電容測試精度 (介電損耗 D): @1MHz±0.3%, 10pF@1MHz±0.15%, 10pF@100kHz±0.2%

    • ±30 V (60Vpp), 內建 DC 偏置范圍可以擴展到 ±210V (420V 差分)

    • 具有 CV, CV 自動測試測量功能

    • 支持 CV, C-t 電容測量掃描方

     脈沖式 I-V 超快脈沖測量單元 (PMU)

    • 兩個獨立的高速脈沖 IV 源和測量通道

    • 200 MSa/s, 5 ns 樣點間隔

    • ±40 V(80V p-p), ±800 mA

    • 瞬態波形捕獲模式

    • 任意波形發生器，10 ns 可編程分辨

    高壓脈沖發生器單元 (PGU)

    • 兩個高速脈沖電壓源通道

    • ±40 V(80V p-p), ±800 mA

    • 任意波形發生器，10 ns 可編程分辨率

    Ⅰ-Ⅴ/C-V 多通道開關模塊 (CVIV)

    • 在 IV 源和 CV 之間切換，無需抬起探針

    • 任意資源 CV 測量，無需抬起探針

    • 支持 ±210 V DC 偏置

    1n 噪聲測試模塊 (FNU)

    • 速度 8~10s/bias

    • 帶寬 1Hz~100kHz

    • 噪聲基底: <120uA@2Hz

    • 全帶寬下的測量偏差 2%


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