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Keysight B1500A 半導體器件參數分析儀

是德科技 Keysight B1500A 半導體器件參數分析儀，則是一體化器件表征領域的另一座高峰。這款多功能分析儀支持 IV、CV、脈沖 / 動態 IV 等全維度測量技術，主機可靈活搭配大功率源表、高分辨率源表、多頻率電容測量單元、超快脈沖測量單元等十余種插件模塊，最小測量分辨率可達 0.1fA，最小選通脈寬低至 10ns，能夠覆蓋從成熟制程到優良工藝、從分立器件到大規模集成電路的全品類表征需求

產品型號：
廠商性質：代理商
更新時間：2026-04-07
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產品詳情

Keysight B1500A 半導體器件參數分析儀介紹：

是德科技 Keysight B1500A 半導體器件參數分析儀，則是一體化器件表征領域的另一座高峰。這款多功能分析儀支持 IV、CV、脈沖 / 動態 IV 等全維度測量技術，主機可靈活搭配大功率源表、高分辨率源表、多頻率電容測量單元、超快脈沖測量單元等十余種插件模塊，最小測量分辨率可達 0.1fA，最小選通脈寬低至 10ns，能夠覆蓋從成熟制程到工藝、從分立器件到大規模集成電路的全品類表征需求

直流和脈沖 IV 測量

支持的模塊及對應主要技術指標：

B1510A 大功率源表模塊（HPSMU）：高達 200V/1A，最小分辨率 10fA/2μV；
B1511B 中等功率源表模塊（MPSMU）：高達 100V/0.1A，最小分辨率 10fA/0.5μV，ASU 選件用于 0.1fA 和 IV/CV 切換；
B1517A 高分辨率源表模塊（HRSMU）：高達 100V/0.1A，最小分辨率 1fA/0.5μV，ASU 選件用于 0.1fA 和 IV/CV 切換；
B1514A 50μs 脈沖中等電流源表模塊（MCSMU）：高達 30V/1A（0.1A 直流）；

主要特性

最小 100μs 采樣（時域）測量
最小脈寬 500μs、100μs 分辨率
準靜態電容電壓（QSCSV）測量且具有泄漏電流補償；
B1514A：最小脈寬 50μs、2μs 分辨率，示波器視圖支持精確的脈沖測量；
4 象限工作
Kelvin（4 線）連接
點測量、掃描測量和其他功能。

電容測量

支持的模塊：B1520A 多頻率電容測量單元（MFCMU）

主要技術指標：頻率范圍為 1kHz 至 5MHz，SMU 和 SCUU 提供 25V 內置直流偏置和 100V 直流偏置

主要特性：交流阻抗測量（C-V、C-f、C-t），使用自動切換通過 SCUU 輕松、快速、精確地進行 IV 和 CV 測量

超快速脈沖和瞬態 IV 測量

支持的模塊：B1530A 波形發生器 / 快速測量單元（WGFMU）

主要技術指標：用于波形生成的 10ns 可編程分辨率，200MSa/s 同時高速測量，10V 峰峰值輸出

主要特性：無負載線效應；使用 SMU 技術進行精確的脈沖 IV 測量，支持 NBTI/PBTI、RTN 等優良應用

脈沖生成

支持的模塊：B1525A 高電壓半導體脈沖發生器單元（HV-SPGU）

主要技術指標：高達 ±40V 高電壓輸出

主要特性：能夠在每個通道上生成二電平和三電平脈沖和任意波形，適用于非易失性存儲器測試

超快速脈沖高 k/SOI 測試

支持的模塊：B1542A 10ns 脈沖 IV 參數測試解決方案

主要技術指標：最小選通脈寬 10ns，上升和下降時間為 2ns，1μs 電流測量分辨率

主要特性：精確的 Id-Vd 和 Id-Vg 測量，在直流測量和脈沖測量之間輕松切換

模塊選型指南

測量資源	所需模塊/擴展器	所需插槽	最高配置	主要技術指標
大功率源（HPSMU）	B1510A 高壓開關柜	2	4	高達 200 V，1 A 電力10 fA 電流測量分辨率
中功率 SMU（MPSMU）	B1511B 多功能服務模塊	1	10	高達 100 V，100 mA 電力，10 fA 電流測量分辨率
大電流源（HCSMU）	B1512A 高容量微型單元	2	2	20 A/20 V（脈沖）；1 A/40 V（直流）*1
高壓源測量單元（HVSMU）	B1513C 高壓開關模塊	2	5	1500 V/8 mA；3000 V/4 mA；（脈沖和直流）
中電流源（MCSMU）	B1514A 多功能控制系統模塊	1	6	1 A/30 V（脈沖）；100 mA/30 V（直流）
多頻電容測量單元（MFCMU）	B1520A 多功能控制模塊	1	1	1 kHz 至 5 MHz。0 至 ±25 V，使用 MFCMU 內部直流偏置 0 至 ±3000 V，使用 HVSMU 和高壓偏置 T 型接頭
高壓中電流單元（HVMCU）	N1266A HVSMU 電流擴展器， B1513B HVSMU 和兩個 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU	4 - 6	1	±1500 V/2.5 A（脈沖），±2200 V/1.1 A（脈沖）
超大電流單元（UHCU）	N1265A 超大電流擴展器/夾具和兩個 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU	2 - 4	1	1500 A/60 V（脈沖），22.5 kW 峰值功率， ±500 A/60 V（脈沖），7.5 kW 峰值功率
超高電壓單元（UHVU）	N1268A 超高壓擴展器與兩個 B1514A MCSMU 或 B1512A HCSMU 與 B1514A MCSMU 的組合	2 - 3	1	10千伏/10毫安（直流），10千伏/20毫安（脈沖）

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Keysight B1500A 半導體器件參數分析儀介紹：

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