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概倫電子 FS800 半導體參數分析儀是新一代半導體器件電學特性分析設備,具有功能全面配置靈活等特點,在一臺設備中實現了電流電壓(IV)測試、電容電壓(CV)測試、快速波形發生與測試、低頻噪聲測試以及高速時域信號采集,可廣泛應用于新材料和新器件研究、電性參數測試、器件模型數據測試、可靠性測試等領域。
產品型號:
廠商性質:代理商
更新時間:2026-04-07
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概倫電子 FS800 半導體參數分析儀介紹:
FS800 器件參數分析儀是概倫電子的新一代半導體器件電學特性分析設備,具有功能全面配置靈活等特點,在一臺設備中實現了電流電壓(IV)測試、電容電壓(CV)測試、快速波形發生與測試、低頻噪聲測試以及高速時域信號采集,可廣泛應用于新材料和新器件研究、電性參數測試、器件模型數據測試、可靠性測試等領域。
該設備擁有直觀的 18.5 英寸觸摸屏界面,采用自主研發的測試硬件架構和數據總線,高效可擴展的半導體表征系統主機可配備高達 24 個自研高精度 SMU、或 132 通道的低漏電矩陣開關。同時可基于需要選配快速波形發生與測試套件和高精度 LCR 模塊,通過單臺設備提供各類晶圓級電性參數自動化測試解決方案。儀器內置的 LabExpress 測試軟件配備豐富的內置測試算法庫,可高效協同控制概倫測試設備、第三方儀表、半自動和全自動探針臺等設備。
FS800 全面而靈活的測試分析能力可極大地加速半導體器件與工藝的研發評估進程,滿足各類半導體實驗室和產線測試需要。
應用領域:
• CMOS 參數測試
- MOSFET 與 BJT 晶體管參數測試
- 二極管與 PN 結參數測試
- MEMS 與傳感器參數測試
• 新材料新器件參數測試
- 薄膜晶體管、顯示器件參數測試
- 二維材料、光電探測器參數測試
- 非易失性存儲器與材料參數測試
- 神經形態器件、憶阻器等參數測試
- 柔性電子器件、可穿戴電子器件參數測試
• 半導體器件特性分析
• 半導體器件建模
• 半導體器件可靠性測試
• 產線測試
• 高效率可擴展的硬件平臺
- 自主研發的測試硬件架構和數據總線
- 可支持高達 24 個 SMU,或 132 通道的矩陣開關
- 可同時支持 SMU 和矩陣開關模塊,在單臺臺式設備內實現晶圓
級電性參數的自動化測試
- 支持多通道并行測試和多點位并行測試
- 可擴展 GPIB 接口
- 可擴展 PXI 機箱
• FS810 高精度 SMU
- 0.1fA 高分辨率
- 最高電流測試精度可達 15fA
- 最大電壓 200V,最大電流 1A,最大直流功率 20W
- 1.5MS/s 采樣率的時域信號采集
• FS821 低漏電矩陣開關輸出模塊
- 12 個三同軸輸出接口
- 200V 負載電壓,1A 負載電流
- 100fA 偏移電流
- 30MHz 帶寬
• FK401B 快速波形發生與測試套件
- 2 個快速 IV 通道,最大電壓 10V,最大電流 10mA
- 100MS/s 采樣率的高速時域信號采集
- 快速脈沖 IV 測試,最小脈沖寬度 130ns
- 支持 SMU 直通
- 可擴充至最多 5 個模塊(10 通道)
• FS338/FS339 高精度 LCR 模塊
- 40V 直流偏壓范圍
- FS338 帶寬:20Hz~2MHz
- FS339 帶寬:20Hz~10MHz


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